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第七百六十八章 腰桿子直起來【求訂閱】

“老胡,來。咱們一起合影留念!”這時,董教授朝正在觀看工作站顯示屏的胡明鎮,使勁的招手。

“對!這麼重要的時刻,咱們一定要記錄下來。”

“小梁、老郝,你們都一起來合影留念。”

董教授、單教授等一干院士級專家教授們都非常興奮,抑制不住內心的激動。他們都在手舞足蹈的說著話。

光刻矽晶圓片的速度非常快,兩分鍾不到就可以給一片8英寸的矽晶圓片完成曝光流程工藝。因為這次給朱雀·酷睿I晶片做流片工程,其實就是一次測試。胡明鎮沒安排批量生產,只讓手下的團隊準備了10片矽晶圓片。

在董教授等人邀請他合影留念的時候,正在工作的KrF光刻機已經完成了給第一片矽晶圓片曝光照相的流程,用時在95秒左右。這個速度在目前來說應該是全球第一,要遠遠超過那三臺從米國運來的KrF光刻機。

不但如此,胡明鎮設計的這臺第三代光刻機,一直秉承了鳴芯製造公司的傳統,採用雙工製程工藝,擁有兩個工作臺。

在劉教授這幫人激動不已手舞足蹈的時候,這臺光刻機的激光頭已經挪動位置,轉到另外一個工作臺上開始掃描掩膜片,給矽晶圓片曝光。

於此同時,另外一隻檢驗激光頭開始工作,給已經曝光好的矽晶圓片做檢驗,執行矽晶圓片蝕刻工藝前的驗片製程工藝。

這一套製程工藝都是一鳴集團公司的Foundry製程專利技術,一般情況下是不對外開發的。

劉教授、董教授和單教授等一般院士專家,也是沾了光,要向總部首長彙報全國首臺第三代光刻機科研成果,才得以在這麼機密的環境裡近距離觀看晶片光刻製程工藝流程。所以這幫人非常激動,有點把持不住自己。

看了看這些個鬢髮花白的專家教授,胡明鎮含著笑微微一搖頭,“老劉,合影留念的事情咱們不著急,等驗片結果出來再說吧。”

晶片光刻、驗片都是微觀的精密工藝,用肉眼是不能檢驗出結果。只能透過電腦模擬顯示光刻流程和驗片流程是情況。

梁宋松此時的工作就是在觀察晶片掃描光刻的驗片資料結果,兩隻眼睛一眨不眨的盯著工作站的顯示屏。突然,他大笑一聲,“成了,老師。第一片矽晶片光刻成品率達到百分之一百!”

說完這些,他一躍而起,從電腦轉椅上跳了起來。

雖然說光刻流程工藝僅僅是晶片流片製程工藝的第一步,後續的工序仍然會降低晶片成品率,但百之一百的成功率還是值得慶賀的。

“百分一百的成品率?這麼厲害?”劉教授聽到這個資料,頓時有點瞠目結舌了。

其他的專家教授們也是如此,頓時都跑到那臺工作站的顯示屏旁邊,想要一睹為快。

此時此刻,電腦屏幕上顯示的一組組圖形比對資料,並沒有什麼晶片物理圖形,不是很直觀。但那些一組組的比對資料卻可以明確的指出,第一片矽晶圓片的曝光光刻成功率。

“各位專家,我們這臺光刻機採用掃描式曝光製程工藝,其原理和複印機的掃描流程很像。當激光頭從掩膜片的上方掃過,鐳射就把掩膜片上的物理電路圖曝光到矽晶圓片的光刻膠塗層,留下電路圖的影像……”

梁宋松指著電腦屏幕,把電腦屏幕上模擬的光刻流程、矽晶圓片比對流程等製程工藝流程,一一跟這些專家們介紹一番。

這些專家們理論知識比較豐富,第三代光刻機的光刻製程工藝卻比較陌生。

特別是胡明鎮發明的Fi製程工藝,他們只是在專業雜誌上看過技術論文報道,根本沒親眼見識過。今天能有這次機會親眼看到KrF光刻機實施光刻、驗片等工藝流程,總算是開了眼界。

“這套系統的技術確實強,已經超過我所意料之外。”

“真沒想到,我們華國也能製造出這種尖端精密裝置!”

“胡教授,你們給我們國家爭光了。”

劉教授、董教授、單教授等人嘖嘖稱讚,臉上浮現出崇敬不已的表情。

不服氣不行啊,事實就擺在眼前。

這幫教授們此時都在打著小算盤,準備回去立即鼓動自己的學生來一鳴集團公司任職。“為甚要出國留學?去鳴芯製造公司任職比留學還要強許多啊!”他們都如是想著。

這時候,梁宋松洋洋得意的介紹,“各位專家,雙工製程工藝、Fi製程工藝、掃描式製程工藝等先進的製程工藝,都是我們團隊和老師研發的,在第二代光刻機上已經得到過驗證。

“不但如此,我們這臺光刻機還應用了浸入式製程工藝。把光刻精度再次提高一大截。這種浸入式製程工藝在全球都是一絕,米國佬就是為了得到這種製程工藝才贈送我們三臺KrF光刻機的……”

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劉教授等人雖然從新聞報道上聽說過樑宋松所說得的典故,但現在親耳聽到這段故事,心情激動的不行,宛如喝了蜂蜜一樣。

“我們華國有這種尖端技術,並不比老外的水平差!”他們都心潮澎湃,胸膛不由自主的挺了起來,腰桿子也值了。

“不要瞎吹了,快準備好拍照留念的事情。”這時候,晶片技術大咖胡明鎮卻給梁宋松下達掃興的命令。

梁宋松沒辦法,只好朝各位專家們歉意的笑了笑,開始準備佈置木椅、幕布、照相機等設施。他也知道,自己的老師這是在故意支開自己,不讓自己在這裡誇讚老師和團隊的功績。

“老胡,從現在的情況來看,這臺光刻機的效能應該達到設計要求了吧?”劉教授意猶未盡,瞥了一眼離去的梁宋松,然後走到胡明鎮的身旁。

而胡明鎮卻微微搖頭,“按照我的本意,這臺光刻機的速度要達到每分鐘曝光一片矽晶圓片。但由於機械、光源功率、光源精度等因素的影響,我們的速度只能達到設計資料的67%。慚愧啊……”

即便這臺光刻機有可能是全球目前最先進的光刻機,胡明鎮對自己的作品還是感到有些不滿意。

“老胡,你就不要矯情了。有了這臺光刻機,我們的腰桿子已經直起來嘍!”就在這時,章釹京來到光刻室的門衛,咧著大嘴笑呵呵的打趣。