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第74章 視察晶圓廠3

汪正評對於公司現在所取得的成績是很開心的,但他知道能有今天的成績大部分是石莫的功勞,每每想起石莫對半導體技術的看視,重金投入,大筆的燒錢,他都有一點興奮,有些慶幸他兩年前沒有拒絕石莫的邀請。

汪正評作為一個技術宅,是很樂意見到半導體技術的快速進步的,身為這個行業內的一份子,對於石莫的瘋狂投入技術研發的壯舉,使他有一種狂熱的感覺。

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石莫在2012實驗室設立的半導體研究所和半導體裝置研究所,為晶圓廠的建設提供了很大的幫助,沒有他們的支援,別說第二座晶圓廠的成功興建了,可以說首座晶圓廠的建設都可能會失敗,想順利開工投產很難。

這兩年,林本堅和馬佐憑等人組織了3000多名技術精英,共同研製公司的高性能dram和處理器的製程裝置等。其中一個目標是在近期突破64k dram和256k dram的實用化,遠期在5-10年內,實現1m dram的實用化。

現在林本堅他們正在進行超大規模積體電路(vlsi)的相關裝置和材料的研發,有望在1985年完成“vlsi”專案,而此項技術在日國1980年時就已經研發成功。

新世界公司從1980年開始重金投入研發,建立了完善的趕超日國dram產業和美國晶片設計產業的研發體系。

新世界建立了3個研發中心,分別在香港、美國矽谷和日國東京。與之對應的是,研究費用成倍投入,1980年新世界在半導體領域的有效研發投入僅有8850萬美金,到現在已經高達9億美金。在專利技術方面,1980年新世界的專利技術應用有708項,目前已經上升到2336項。

石莫一行人來到製造半導體產品最關鍵的,位於第三層的無塵室,裝置維護工作則在二層的“subfab”層完成,這個工廠的生產重心是快閃記憶體顆粒,旁邊的另一個工廠才是生產處理器。

孟婉池是首次進入半導體行業,擔任理事長助理一職。這次是第一次參觀晶圓廠,看著地面並非是她平常所瞭解的硬地板,而是採用的一種類似於網狀的設計,但是卻非常的堅固,有些疑惑,於是好奇的向汪正評問道:“汪經理,請問地面為什麼要做成這樣呢?”

汪正評微笑著答道:“廠內的地面全部打孔,是為了保證空氣從上向下流通,將落塵的可能減到最小。並且房間裡的空氣,每5分鐘就要完全的更換一次。”

說完,汪正評還向孟婉池他們介紹了晶圓廠內走廊頂端的自動運輸系統。

晶圓廠是使用自動化材料處理系統的自動化工廠。為此,晶片在一種稱為前端開啟式晶圓傳送盒(foup)的封閉容器中進行加工和運輸。使用高架式晶片運輸車(oht)系統將foup從一組裝置運送到另一組。據汪正評說,在大型晶圓廠中,oht軌道可以長達7公里,可容納上百輛汽車。

此時自動化材料處理系統(amhs)正在以每小時8公里的速度將晶圓在各個製造環節間運輸,24小時不停歇。

生產線上的晶圓傳送盒(foup)能攜帶6片3寸晶圓,在數公裡的高空軌道上經過擴散、清洗、微影、蝕刻、拋光、薄膜與量測等數道程式。目前整個工廠員工總數約有1700人,以輪班制維持24小時生產線運作。

生產線上可以看到有很多身穿無塵衣的技術人員在忙碌著,石莫還和一線作業員進行了短暫的交流,詢問生產的相關情況。

石莫最關心的是生產安全問題,半導體製造行業是一個高危行業,其中很多的化工用品都是致癌物,如苯、氫氟酸、硝酸等,原料上,二氧化矽並沒有毒,但是粉末狀的二氧化矽氣溶膠就會引起塵肺和肺癌,就是有毒的。另外,半導體廠常用的摻雜原料多數有毒,比如矽烷、砷烷等,或是三甲基鎵等等化合物。它們或直接是劇毒物質,或其與空氣、水等反應後生成的物質有毒。

三星就因為在管控半導體工廠環境方面存在疏忽,導致工人患癌致病。三星半導體成立十幾年來,已經有約320名三星工廠受害者先後換上癌症(血癌,俗稱白血病),其中,有118名血癌患者已經死亡。

隨後石莫在現場檢視了安全生產應急裝置的情況,並詳細詢問汪正評關於安全隱患預防的落實情況。

石莫嚴肅的向汪正評警告道:“安全生產無小事,安全責任重於泰山。要牢固樹立安全發展理念,始終把安全生產放在首要位置,不僅思想上要高度重視,措施上更要管用有力。公司要始終堅持“安全第一、預防為主、綜合治理“的安全生產方針,加強隱患排查整治,堅決克服麻痺思想、僥幸心理,從嚴從實從細抓好各項工作,堅決防範遏制各類安全生產事故的發生。做到切實提高安全生產管理水平,推動公司安全發展、長遠發展啊。”

嚴格按安全生產的操作規程辦事,生產效率可能會受到一些影響,但石莫認為他的公司要有社會責任感,公司必須要認真做好環境管控,有責任心。生命都來之不易,且行且珍惜吧!

汪正評也知道半導體製造是一個高危行業,正色道:“好的,老闆,我會嚴格要求員工執行規章、正確操作裝置,我們現在的生產裝置都有嚴格的防護措施,廢棄物都有妥善的處理工藝。”

石莫點點頭,以後就看汪正評的執行力度了,石莫可不想出現安全事故後被員工遊行示威,然後才被迫道歉賠償整改等,那得多丟面子,多狼狽啊。

石莫不放心的強調道:“半導體工廠必須建立健全安全生產責任體系,進一步壓實責任、強化措施,抓細抓實安全生產工作,不斷增強員工的幸福感和安全感。要深化認識,切實增強安全生產的責任感和緊迫感,從保障發展的高度抓好安全生產,全力防範安全生產事故發生。真正把安全第一,預防為主落到實處,不斷開創安全生產工作的新局面。”