因為激光器安裝執行需要的環境很苛刻，所以都是整合成為了一個部件。
而之前走南闖北，李由等人也將目前大夏主流的幾個光刻機看了個遍，摸了個遍，早已是胸有成竹。
經歷過人情冷暖的中年人可不像涉世未深的小年輕，不會輕易因為他人不理解產生的質疑而憤怒。
用產品打臉才是最讓他們暗爽的事。
“既然貴司準備好了適配，我們實驗室有這個型號的機器，就讓我們拭目以待吧。”
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趙興夏接著又補了一句：“先簽個合同，以免實驗過程中出現意外，造成大家不必要的損失，沒問題吧？”
“自無不可。”
顧青笑著答應了下來，他當然是理解對方的。
光刻機雖然沒有某些跑車貴，但卻比跑車難造，弄壞一臺都是血虧。
他們半導體部門的隊伍去其他廠家調整適配光源裝置的時候都是交了一筆試驗費用和保證金的。
甚至法務部都做了幾份相關合同模板出來。
簽了合同，趙興夏才帶著顧青一行人走到另一個研究室。
對於已經建好的光刻機工作間，每一次實驗都是非常昂貴的。
穿上堪比防護服的白色工作服，李由等人帶著數個光源裝置部件進入了光刻機的超潔淨工作間。
趙興夏看著這幾人很是熟練的開啟光刻機系統，將光源裝置更換後，又很熟練的分成兩隊。
李由這一隊坐在一旁的電腦工作臺上手指飛舞調整引數，張巖泰則帶著自己這一隊在光刻機的鐳射調整、能量控制器這些地方進行調整。
雖然光源裝置是適配這個光刻機的，但是有很多小問題是需要處理的，不然別說晶片造不出來，光刻機損壞都是很正常的。
工作了大半天後，李由與張巖泰一起審查了一遍，這才對著房間內的攝像頭比了個OK的手勢。
“趙教授，實驗就要開始了。”顧青提醒道。
趙興夏點了點頭。
不論是近紫外（NUV）鐳射還是深紫外（DUV）鐳射，又或者最高端的極紫外光EUV。
它們都有個紫字，並非是很深奧的問題，因為這幾個光源都是名副其實的紫色光源。
九州科技半導體部門研發的穩態微聚束的SS1MB光源，為這個解析度90nm的S1A600/20光刻機的適配光源裝置是DUV深紫外光。
光源裝置執行，激光器發射出來的深紫外光
經過矯正後，進入能量控制器、光束成型裝置等裝置，再進入光掩膜臺。
光掩膜臺上面放的測試用的光掩膜，之後經過物鏡投射到曝光臺。
曝光臺上放置著一張8英寸晶圓片，上面塗抹了光刻膠。
半個小時後……當然晶片不是這麼一點時間就可以做出來的，但是其工作狀態和試運行成果卻是能判斷的。
“這，這，這……”
“這居然是真的，國產DUV光源？我不是在做夢吧，老趙。”
“純淨度極為優秀”
剛剛還有些負氣的年輕工程師此刻看著工作間裡面的光刻機，嘴巴不自覺張大，眼神有些渙散。
李由作為一個有家室的中年人，很是照顧後輩。
他走到這人身旁，拍了拍他的肩膀。
“回回神，這才剛開始。”
“啊？啊？什麼開始？你們可以把這個光源賣給我們嗎？現在就可以用我們國產的光源了嗎？”
這位青年工程師有些語無倫次，其他研發人員和工程師亦是如此。
整個實驗室和光刻機工作間的人都震驚了。
大夏企業自己的光源裝置！
他們等這一天多久了？
有浦東微電子的老工程師不自覺擦起了眼淚。
男兒有淚不輕彈，只是未到傷心處。
這群投身國產半導體行業的老人們更是感觸頗深。
他們當年搞這個的時候……
“造不如買、造出垃圾來賣得又貴，國產不好用。
國產毛病多，你們別做了，還是買德國的光源吧！
搞個光刻機淨坑自己人！”
一句句往日刁鑽刻薄的話此刻在耳邊迴響，再看看現在那臺光刻機。
“終於有好光源了。”
趙教授摘下眼鏡，擦了又擦眼角的淚水，他身旁助理此刻也是以淚洗面。
顧青抿著嘴，搖了搖頭。
雖然瞭解過大夏半導體科研的困難，但他還是低估了當年輿論環境和經濟環境對這些科研人員的傷害。
是啊，國外有成熟高階的技術，只需要花錢買，就能享受到完美的服務。
國內還有一群榆木疙瘩，到處求人拉贊助，摳摳搜搜攢錢做實驗做開發，好不容易做出點成果，因為沒有經過市場適配和反饋升級，有瑕疵。
然後就是鋪天蓋地的辱罵貶低，甚至“國產高科技產品”被輿論批評成為了“偽劣產品”。
德國貨、霓虹貨、美版就是好。
而浦東微電子硬是扛著這些流言蜚語，一路埋頭苦幹，直到現在能量產9０奈米的光刻機。
公開資料中描述用的的ＡＲＦ光源１９３奈米。
這說明如果有更好的光源，光刻機精度將會很快得到提升。
“你不知道啊，核心部件大功率激光器，需要穩定可控達到2萬w以上的鐳射。這種激光器的元件只有德國和美利-堅可以供應。
我們在這一領域和他們差距巨大。因為沒有需求，所以幾乎沒有一家公司能夠提供相應的部件。
後來哈工大的老莊替我們牽線，和他們合作後，也不得不選擇功率難以提高但不需要大功率激光器的DPP方案作為切入點。
你們公司這個專案做得真的好，真的好。”
趙教授沒有問顧青，這個光源是不是用的國外的，像當年那個畜生一樣買個成品來騙他們。
因為這種新技術光源，別說成品了，現在論文都沒幾篇，他們能到哪兒買？
倒是顧青聽到老莊這個詞，下意識問了一句：“趙教授您說的是哈工大的莊友偉教授？”
趙興夏這時才戴好眼鏡，點了點頭。
“就是他，我們這裡還有幾位是他介紹過來的哈工大學生。”
顧青拍了拍手。
“這不是緣分嗎？我和莊教授關係也不錯，我們公司的仿生機械假肢專案也有哈工大的學生。”
兩人由著這個話題聊了起來，頗有些忘年交的意思。