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第188章 極紫外光源研製成功了

此時,已經上午10點鐘了。

許黎看著試驗臺上的東西,終於是松了一口氣。

“終於做出來了!”

然後他就癱在椅子上,身心頓時放鬆了下來。

畢竟這吸轉器可沒有那麼容易搞定。

需要嘗試不同的吸收材料,對比參照實驗,這樣才能更大程度的處理碎屑汙染。

經過一番篩選後,許黎在小黑的幫助下,成功弄出一種合成材料,才達到不錯的碎屑吸收效率。

將其製成吸轉器,可以將碎屑吸收,並且進一步的轉化成電能。

其中的構造可謂是複雜無比。

這時,許黎聽到身後有腳步走動的聲音。

李默的身影就出現在他身旁,看了試驗檯那一個環狀裝置頓時眼睛一亮。

“校長,這吸轉器搞出來了?”

“嗯,可費了我不少的腦細胞,現在趕緊將光源搞出來看看吧!”

許黎回道。

“那好,我叫徐教授過來。”

不久,徐華來到了實驗室,對許黎做出來的吸轉器親自測試了一番,為此讚不絕口。

“這下子太好了,我們可以不用之前的兩種方案類,直接安裝吸轉器就可以了,這樣極紫外光源就可以搞出來了!”

徐華很是高興地說道。

“啊哈~那你們先搞著,我先去隔壁休息了,熬了一夜了,有問題再叫我!”

許黎打了個哈欠。

“好,那校長你先休息一下,後面的工作就交給我們把。”

“嗯,好。”

許黎實在困得不行了,就直接出了實驗室去了隔壁的休息室休息,那裡有臨時打的床鋪,專門給經常熬夜研究的科研工作人員休息用的,還準備了一些必要的常規藥品和直飲水機,以防不時之需。

許黎關上了門,閉上雙眼,沉入夢境。

而夢境之內,他就像一個旁觀者,浮於夢裡,看到了一個個心想事成的片段:

國產極紫外光刻機橫空出世、震驚世界,自己創辦的燧人大學也正式進入了全國乃至世界的眼裡,學子絡繹不絕,彷彿汪洋大海般的,容納這些孜孜不倦追求理想和智慧的學子....

而後就是一段一段的模湖片段,因為速度很快,看不清發生了什麼。

但最後,他忽然輾轉之間,來到群星之間,回首望去,一個星系在他眼前映現。

那是太陽系,人類賴以生存的恆星系。

而這時,一道流光似乎劃破了星空,直入太陽系,帶著宛如“彗星”的尾巴,消失不見了。

“校長!校長!”

忽然,一道興奮而激動的聲音在他耳邊響了起來。

許黎從夢境掙脫,睜眼之時,只見李默已經在床前站著了。

許黎揉著惺忪的雙眼,疑惑道:“怎麼了?”

“成功了!我們的極紫外光源研制成功了!”

李默面色激動地道。

許黎立掃睏意,睜大了眼,“真的?我們一起去看看!”

他也不顧李默了,直接離開休息室。

等他來到實驗室後,發現已經有不少人正圍著一個機器,有些還在一邊拿筆記本或電腦記錄著什麼資料。

“校長,你來了。”

徐華見到許黎兩人到了,揮手示意讓其他人讓出路來。

許黎走過來一看,發現一個箱形裝置已經靜靜地躺在試驗場地中央。

“這就是極紫外光源?成功了?”

許黎疑惑道。

“是的,我們已經成功將該光源研製出來了,再經過我們多次重復試驗以及對比論證,現在,過程極紫外光刻光源已經完成了研製,加上我能獨立設計的透鏡物鏡及其光學系統,其效能超過目前國漢斯貓的5倍左右,如果能夠配合好的其他光刻機部件,那該組裝完成的光刻機可以綜合提升35%左右,可以製作效能優秀的5奈米晶片......”

徐教授興奮地解釋道。

他還從來沒有相關,一個工業明珠上的皇冠的一個核心部件,就這樣被他們攻克了。

只要給他們時間,燧人科技也能擠進全球半導體頂尖玩家的殿堂,成為EUV光刻機部件供應鏈的廠商之一。

到時候也能在半導體領域上擁有自己的話語權,即使沒有擁有全套的光刻機製造技術,但是起碼不至於讓國內這麼的被動。

“既然如此,我們也應該通知一下我們的盟友,想必他們也等急了。”

許黎一笑。

“好!”

徐華應了一聲。

春城,長光電所

陳所長此刻正愁著怎麼改進光刻機呢。

雖然之前已經透過花為的牽線搭橋和燧人科技搭上了,主要是合作改造現有光刻機。

而這個改造的光刻機主要是28nm的光刻機,因為現在國內的光刻機也只能勉強達到28nm工藝。

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據魔都微電子透露,明年他們有望交付首臺國產28奈米工藝浸沒式光刻機。

算是在剛好邁在高階光刻領域的門檻,也就是現在國內的光刻科技水平還停留在中端水平。

根據光刻機工藝水平,光刻機主要劃分為超高階、高階、中端、低端四個層次。

首先,光源EUV13.5nm、節點5nm/7nm的光刻機是處於超高階層次的,全球只有AMSL這一家公司可以組裝製造。

其次,光源ArF+浸入式,節點在7~28nm處於高階層次的。

最後,光源ArF/KrF/I-Line,且節點是65nm+或90nm+的,分別處於中端、低端層次。

注意,這裡的ArF/KrF指的是深紫外光刻光源。

想要製作更好的的晶片,那就得造出更好的光源,比如極紫外光源(EUV)。

即使是這種ArF 28nm光刻機和AMSL公司最先進的EUV5nm光刻機工藝有著天壤之別。

但是也能將國內的光刻水平提升到世界先進水平,完全可以滿足常見的射頻晶片、藍芽晶片、功放晶片、電器的驅動晶片等絕大部分邏輯晶片的要求,以及大部分數字晶片的要求。

陳所長也聽說三桑目前正在研究3nm晶片工藝的光刻機,也許很多人都以為很厲害,但是對於他這種業界的人自然知道其中的道道。

現在的7nm或5nm晶片,不是從前的含義,最準確的是牙膏廠的命名,只是它也學壞了。

晶片的奈米製程並不是真的幾奈米,更多是一種更新迭代的說法。

上一代可能是4nm,下一代根據摩爾定律乘以根號7,差不多3nm。

以前的製程是指電晶體的寬度,現在則是電晶體的溝道寬度,就出了這種個位數的奈米製程。

就像目前三桑研究的3nm光刻機,由於極紫外光刻技術受到光電效應的影響,可能其實際線精度在十幾奈米或20奈米。

不過這種奈米製程的晶片如果不用EUV光刻機的話,也是弄不了的。

雖然各廠家的命名方法各有所別,但也不是完全沒有意義。

長光機電所也在為接下來的14nm工藝光刻機刻苦攻堅。

只是沒有極紫外光源,想要做成這樣的光刻機恐怕很難。

“唉~”

陳所長也知道這需要不長的時間,可能幾年、幾十年,甚至最壞的結果——失敗。

但是還是要繼續攻研技術,要不然以後只能被人牽著牛鼻子走啊。

就在陳所長滿心憂愁的時候,一個電話響了起來,打斷了他的思緒。

他接起來一聽,頓時眼睛睜瞪如燈籠般大小,驚聲道:

“什麼?燧人科技的極紫外光源成功了?!”